山东德国普旭真空泵RA0202D采购

编辑:安季浅空 2019-08-18 00:06:57

上海振畅机电科技有限公司特别重视产品品质的提升,为使产品制造过程更精密,更完善,产品更具竟争力,积累了多年的真空技术经验,一直不懈追求完美的产品品质。

随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。 常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来,伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持kuai速增长势头,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地kuai速的发展。

如何在真空泵应用中防止泵内出现颗粒物的解决方法 真空泵目前应用越来越广泛,尤其是在半导体、化工等一些工况可能比较恶劣的应用行业里。今天就来讲一讲,在真空泵应用中防止泵内出现颗粒物的解决方法:1、适当提高泵温。物质的升华、凝固是压力与温度的函数,随物质不同各有变化。因此提高泵内温度可以避免一些介质在泵内压缩过程中发生气固变相而形成颗粒物。如Al在刻蚀过程中生产的氯化铝,在对应压力下,其在80℃就会开始气化,因此在将泵内温度保持在80℃就可有效避免氯化铝的固化沉积。 2、降低会反应气体的浓度。单位时间内气体反应生成颗粒数量与气体浓度相关,所以在真空泵抽取这类气体的工艺中可以通过充入惰性气体,减少反应气体浓度来降低颗粒物的形成。这个方法也会用内温度冷却,防止介质降解、聚合形成腐蚀性物质等,也可以防止介质达到着火极限等可能,如CVD工艺中可能的爆炸。 3、增加抽气通道中的气流速度。为防止处于悬浮状态的固体颗粒物沉积,使气体的流动速度大于颗粒物沉积的临界速度,就可保证颗粒物随气流输送排出,防止沉积。具体的方法与第2点一样,在不影响真空泵的极限压力的前提下,就是充入适量气体。

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